高純氣體的檢測方法有哪些？-天星為你介紹

高純氣體的檢測方法有哪些？-天星為你介紹

高純氣體中微量氧的分析，除采用氣相色譜法檢測外，常常采用在線的專用微氧分析儀，對高純氣體中的微氧雜質進行連續的監測，此種微氧分析儀一般安裝在高純氣體制取設備或純化設備出口，用以監測獲得的高純氣體中的微氧含量是否符合規定的要求；另外也常常安裝在高純氣體的輸送管路的始、末端，用以監測高純氣體輸送過程的污染狀況，以確保用氣設備處的微氧含量符合規定的要求。

現常用的微量氧分析方法。目前在10一9級微氧檢測中采用DF系列微氧分析儀，鉑系列氧分析儀是目前微氧分析儀，它采用一個非消耗型電化學傳感器，類似于庫倫計的過程，在電化學池內氧量被降低了，鉑系列測氧時對傳感器的任何部分都沒有化學變化和分解。它不同于可更換的電池型傳感器那樣使用一個可消耗的陽極oDF-560型微氧分析儀的微氧檢測范圍是0～2×10_9，可對N2、He、H2、Ar等氣體中的微量氧進行在線檢測，圖6-45是DF型微氧分析儀外形。

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