福建氣體管道安裝中高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到儀器對(duì)氣體的質(zhì)量要求,在一定氣體出口指標(biāo)的情況下,應(yīng)更注重管道系統(tǒng)的選材用和施工質(zhì)量。下面奧飛克氣路安裝廠家就來為大家進(jìn)行介紹。
對(duì)輸送高純氣體管道安裝而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
氣體滲透性不同材料對(duì)氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到,對(duì)于輸送ppm級(jí)及更高純度要求的氣體,從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管,如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料,那么,無(wú)論我們采取什么凈化手段,都將是無(wú)濟(jì)于事的。出氣速率材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),在高純氣體的輸送過程中,如果氮和碳?xì)浠衔锝Y(jié)合,這些雜質(zhì)會(huì)慢慢地釋放并污染高純氣體管道,特別是要求PPB中純度較高的非均質(zhì)性的高純氣體。通常,低碳不銹鋼管有一個(gè)非常低的排量
吸附由于水分和其他雜質(zhì)是極性分子,吸附非常強(qiáng)。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料容易吸收水等雜質(zhì)。銅材料對(duì)水有很強(qiáng)的吸水性。使用這些材料運(yùn)輸高純氣體容易造成污染不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。表面粗糙度和耐磨性為了確保輸送的氣體純清潔。要求在管道內(nèi)表面進(jìn)行高光潔度處理,以防止污染和墻壁潮濕滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,金屬顆粒更少,不銹鋼的顆粒比銅管少,所以不銹鋼管比鋼管好。
抗腐蝕性微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會(huì)被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體管道,還會(huì)發(fā)生事故。以上就是奧飛克氣體管道安裝工程廠家為大家介紹的有關(guān)高純氣體管道安裝對(duì)配管和材質(zhì)有什么要求的分析,希望可以給大家提供參考。通過以上的分析,大家應(yīng)該知道了如何對(duì)高純氣體管道安裝的材質(zhì)要求
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